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設備名稱 臺階儀 品牌型號 VEECO dektak 150

設備用途
測量臺階高度 凹槽深度等
 
主要技術指標：
樣片尺寸：≤6inch
樣品最大厚度： 50mm
最大掃描長度： 1000um
垂直方向分辨率：1 ? 
樣品臺移動范圍：100*100mm   360°

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