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設(shè)備名稱 有機(jī)清洗機(jī)
設(shè)備用途
主要用于晶圓表面的有機(jī)雜質(zhì)清洗

主要技術(shù)指標(biāo)：
可以使用丙酮、乙醇、異丙醇

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